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使用便携式真空计校准装置“小尺子”都出现在什么地方？便携式真空计校准装置自研制代至今，近几年来，产品得到国内外30多家单位的应用。“小尺子”发挥着“大作用”，在嫦娥系列月球探测器、火星探测器、空间站、北斗导航等重大航天型号任务的研制试验及发射中得到了极大应用；在芯片、行波管、高大上电气、真空器件、高精度时钟、电池等生产过程/生产设备的定期校准中也发挥着重要作用；

同时，在航空发动机、火箭、等的试验与生产，特种钢材冶炼、高纯度气体制备、装备生产现场都曾出现便携式真空计校准装置的小身影。科技要发展，计量须。2022年，514所将继续开足马力加持技术攻关，做好当前产品优化升级和市场推广，做好后续的深度开发和成果转化，为所高质量发展贡献力量，以实际行动为建设重大工程的顺利开展提供高可靠测量技术保障。

隔膜片控制器Tessent是SoC测试设计（DFT）解决方案的，并通过其Tessent安全生态系统在汽车功能安全领域确立了优势，这两个产品是整套解决方案的基础。包括半导体设计和生产、功能安全、网络安全和该领域产品的功能。包括SoC的结构、电气和功能能力，它还通过UltraSoC支持西门子的数字孪生系统，从而提供对真实设备的监控，

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用IBM0.13umCMOS技术制造，CMOS电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5V电源供电，功率消耗约为0.69mW。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44fF。

电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。

图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容CX1、CX2，寄生电容CP，输入阻抗缓冲器R，前置可编程放大器，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器（LPF），可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

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2022年，将再次鼓足干劲扶持关键技术科技攻关，做好现阶段产品提升升级和品牌推广，做好后面的深度开发和科技成果转化，为所高质量发展作出贡献，以身体力行为建设重大工程的顺利进行给予高靠谱准确测量技术性确保。

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它还根据UltraSoC适用西门子PLC的数字孪生系统软件，进而保证对真正机器设备的监管，致力于将来连接网络和无人驾驶汽车（C）的安全系数。协助顾客连通生产数据信息和业务流程数据信息，到云计算技术产生的经济效益。又好又快地开发设计出工业生产运用，据统计，这种AI能力早已在各个领域完成了显著的降低成本、增加效率。

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